太陽(yáng)能光伏行業(yè)超純水
太陽(yáng)能行業(yè)用超純水設(shè)備、蓄電池生產(chǎn)用超純水、鋰電池生產(chǎn)用超純水 、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)用超純水、蓄電池格板用超純水等,其對(duì)純水水質(zhì)要求十分嚴(yán)格, 多晶硅超純水設(shè)備主要用在多晶硅片清洗中,多晶硅片,半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中硅片須經(jīng)嚴(yán)格清洗。微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì),包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài),有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染電括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成和人接器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等,嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo);堿金屬如鈉等,引起嚴(yán)重漏電,顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等,會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。
其光伏電池超純水設(shè)備有著以下工藝:
1、源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→UF系統(tǒng)→一級(jí)反滲透→PH調(diào)節(jié)→級(jí)間水箱→二級(jí)反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過(guò)濾器→EDI裝置→氮封水箱→增壓水泵→拋光混床→循環(huán)增壓泵→用水對(duì)象(≥18MΩ.CM)
2、源水→源水增壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→UF系統(tǒng)→一級(jí)反滲透→PH調(diào)節(jié)→級(jí)間水箱→二級(jí)反滲透→中間水箱→中間水泵→紫外線殺菌器→微孔過(guò)濾器→EDI裝置→氮封水箱→供水泵→用水對(duì)象(≥17MΩ.CM)
光伏行業(yè)超純水設(shè)備詳細(xì)介紹
1、預(yù)處理系統(tǒng)(原水箱、原水泵、石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器、阻垢劑系統(tǒng))
2、反滲透除鹽系統(tǒng)(保安過(guò)濾器、高壓泵RO、反滲透)
3、EDI系統(tǒng)(EDI的作用就是去除電解質(zhì)(包括弱電解質(zhì))的過(guò)程,將水的電阻率從0.05~1.0MΩ.cm提高到5~16MΩ.cm。)
4、拋光混床(終端精制混床是超純水在接觸到半導(dǎo)體芯片前的最后一道化學(xué)精制的處理程序,終端精制混床樹(shù)脂必須是最高的品質(zhì),絕不能釋放出任何物質(zhì),進(jìn)而污染到不能間斷的超純水供水系統(tǒng))
5、脫氣膜(是控制液體脫氣、供氣的中空纖維膜組件。具有致密表皮層的獨(dú)特中空纖維不透過(guò)液體,只透過(guò)氣體,適合用于液體的脫氣、供氣。)
6、TOC系統(tǒng)(超純水制備中,TOC(總有機(jī)碳)的降解至關(guān)重要,采用UV-180nm單波長(zhǎng)紫外技術(shù),并通過(guò)高劑量的UV-185紫外關(guān)催化,在水中產(chǎn)生OH翔基自由基,對(duì)水中的有機(jī)物進(jìn)行氧化降解,以達(dá)到降低水中TOC的含量。)
超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)
超純水設(shè)備出水水質(zhì)完全符合美國(guó)ASTM D5127-2007、符合我國(guó)電子級(jí)水GB/T 11446.1-1997標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ.cm、15MΩ.cm、0.5MΩ.cm)。
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