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半導體生產(chǎn)線上純水的要求

發(fā)布時間:2023-10-17 瀏覽次數(shù):591

在半導體生產(chǎn)線上,高純度水(純水)是至關重要的,因為它用于多個關鍵工藝步驟,包括清洗、制備、沖洗和蝕刻等。恒大興業(yè)環(huán)保帶你了解半導體生產(chǎn)線上對純水的主要要求:

1、超高純度:半導體生產(chǎn)要求超高純度水,通常達到或者接近18兆歐*厘米(MΩ·cm)的電導率。這要求去除水中的離子、溶解物質(zhì)和其他雜質(zhì),以確保不會在半導體制造過程中引入污染。

2、低有機碳含量:水中的總有機碳(TOC)含量必須非常低,以防止有機物質(zhì)殘留在半導體表面,影響設備性能。

3、低微生物和顆粒物質(zhì):水中不得存在微生物,因為它們可能導致生物污染。此外,顆粒物質(zhì)也必須保持在極低水平,以防止顆粒物質(zhì)在半導體器件上引入缺陷。

4、一致性和穩(wěn)定性:純水的水質(zhì)必須保持一致,并且在整個生產(chǎn)過程中穩(wěn)定,以確保半導體器件的質(zhì)量和性能。

半導體生產(chǎn)產(chǎn)線純水制取設備

5、嚴格的監(jiān)測和控制:半導體生產(chǎn)線上的純水系統(tǒng)需要配備嚴格的在線監(jiān)測和控制系統(tǒng),以實時監(jiān)測水質(zhì)參數(shù),如電導率、TOC、顆粒物質(zhì)和溫度,并根據(jù)需要自動調(diào)整操作參數(shù)。

6、自動化和可追溯性:純水系統(tǒng)通常需要高度自動化,以減少人為干擾,并確保水質(zhì)的可追溯性。這對于排查問題和證明產(chǎn)品質(zhì)量至關重要。

7、維護和清洗:純水系統(tǒng)需要定期維護和清洗,以確保設備性能。這包括定期更換濾芯、清洗反滲透膜和保持系統(tǒng)干凈。

8、雙系統(tǒng)備份:為確保連續(xù)供水,半導體生產(chǎn)線通常采用雙系統(tǒng)備份,以在一個系統(tǒng)發(fā)生故障時切換到另一個系統(tǒng)。

9、安全:純水系統(tǒng)必須符合安全標準,以防止泄漏或其他潛在危險。

10、合規(guī)性:半導體行業(yè)通常受到法規(guī)和質(zhì)量標準的嚴格監(jiān)管,因此純水系統(tǒng)必須符合相關的行業(yè)法規(guī)和標準。

純水在半導體生產(chǎn)中扮演著至關重要的角色,因此高度純凈和可靠的水源是確保半導體產(chǎn)品質(zhì)量和性能的關鍵要素。半導體公司通常會投資大量資源來確保其純水系統(tǒng)的穩(wěn)定性和性能。




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